红外共焦激光失效分析仪
2019-11-08 - 特性图像空间分辨率高背面观测(λ=1.3 μm)可观测高掺杂基底(Epi-sub)使用红外激光(λ=1.3 μm)意味着在半导体视场内不会产生OBIC信号，因此可探测到缺陷引
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